ภาพรวมของผลิตภัณฑ์
แผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วเป็นวัสดุซับสเตรตแซฟไฟร์ผลึกเดี่ยวที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่มาก ผลิตขึ้นสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง เมื่อเปรียบเทียบกับแผ่นแซฟไฟร์ขนาด 2–6 นิ้วแบบดั้งเดิม แผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต การใช้ประโยชน์จากวัสดุ และความสม่ำเสมอของอุปกรณ์ได้อย่างมีนัยสำคัญ จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมอย่างยิ่งสำหรับเทคโนโลยี LED รุ่นใหม่ อิเล็กทรอนิกส์กำลังสูง และเทคโนโลยีการบรรจุขั้นสูง.
แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วของเราผลิตจากผลึกเดี่ยว Al₂O₃ ความบริสุทธิ์สูง โดยใช้วิธีการเติบโตผลึกขั้นสูง จากนั้นจึงผ่านกระบวนการตัด เจียรไน และขัดเงาอย่างแม่นยำ พร้อมการตรวจสอบคุณภาพอย่างเข้มงวด แผ่นเวเฟอร์เหล่านี้มีความเรียบเนียนของพื้นผิวสูง ความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำ และมีความเสถียรทางแสงและทางกลสูง ซึ่งตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดในการผลิตอุปกรณ์ขนาดใหญ่.
ลักษณะของวัสดุ
แซฟไฟร์ (อะลูมิเนียมออกไซด์ผลึกเดี่ยว, Al₂O₃) เป็นที่รู้จักกันดีในด้านคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่ยอดเยี่ยม แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วสืบทอดข้อดีทั้งหมดของวัสดุแซฟไฟร์ในขณะที่ให้พื้นที่ผิวใช้งานที่ใหญ่กว่ามาก.
ลักษณะสำคัญของวัสดุประกอบด้วย:
-
ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอสูงมาก
-
เสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและจุดหลอมเหลวสูง
-
ทนต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยมต่อกรดและด่าง
-
ความโปร่งใสทางแสงสูงจากช่วงความยาวคลื่น UV ถึง IR
-
คุณสมบัติการเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม
ลักษณะเหล่านี้ทำให้แผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่รุนแรงและกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีอุณหภูมิสูง.
กระบวนการผลิต
การผลิตแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วต้องใช้เทคโนโลยีการเติบโตของผลึกขั้นสูงและการประมวลผลที่มีความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ กระบวนการผลิตทั่วไปประกอบด้วย:
-
การเติบโตของผลึกเดี่ยว
ผลึกแซฟไฟร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงถูกปลูกด้วยวิธีการขั้นสูง เช่น KY หรือเทคโนโลยีการปลูกผลึกขนาดใหญ่ชนิดอื่น ๆ ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ว่าทิศทางของผลึกมีความสม่ำเสมอและมีความเค้นภายในต่ำ. -
การขึ้นรูปและการตัดคริสตัล
แท่งแซฟไฟร์ถูกขึ้นรูปอย่างแม่นยำและตัดเป็นแผ่นเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้วโดยใช้อุปกรณ์ตัดที่มีความแม่นยำสูง เพื่อลดความเสียหายใต้พื้นผิวให้น้อยที่สุด. -
การขัดเงาและการขัดมัน
กระบวนการขัดแบบหลายขั้นตอนและการขัดด้วยสารเคมีเชิงกล (CMP) ถูกนำมาใช้เพื่อให้ได้ความหยาบของพื้นผิว ความเรียบ และความสม่ำเสมอของความหนาที่ยอดเยี่ยม. -
การทำความสะอาดและการตรวจสอบ
แผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วแต่ละแผ่นจะผ่านการทำความสะอาดอย่างละเอียดและการตรวจสอบอย่างเข้มงวด รวมถึงคุณภาพพื้นผิว, TTV, โค้ง, การบิดเบือน, และการวิเคราะห์ข้อบกพร่อง.
การประยุกต์ใช้
แผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว ถูกใช้อย่างแพร่หลายในเทคโนโลยีขั้นสูงและเทคโนโลยีที่กำลังเกิดขึ้นใหม่ รวมถึง:
-
แผ่นฐาน LED กำลังสูงและความสว่างสูง
-
อุปกรณ์กำลังและอุปกรณ์ RF ที่ใช้เทคโนโลยี GaN
-
ผู้ขนส่งอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และวัสดุฐานฉนวน
-
หน้าต่างออปติคัลและส่วนประกอบออปติคัลพื้นที่ขนาดใหญ่
-
บรรจุภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและพาหะกระบวนการพิเศษ
เส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ช่วยให้สามารถผลิตได้มากขึ้นต่อหน่วยเวลา และเพิ่มประสิทธิภาพทางต้นทุนในกระบวนการผลิตจำนวนมาก.
ข้อดีของแผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
-
พื้นที่ใช้งานที่ใหญ่ขึ้นสำหรับเอาต์พุตของอุปกรณ์ที่สูงขึ้นต่อเวเฟอร์
-
ความสม่ำเสมอและความเป็นมาตรฐานของกระบวนการที่ดีขึ้น
-
ลดต้นทุนต่อหน่วยในการผลิตจำนวนมาก
-
ความแข็งแรงทางกลที่ยอดเยี่ยมสำหรับการใช้งานชิ้นส่วนขนาดใหญ่
-
สามารถปรับแต่งสเปคให้เหมาะกับการใช้งานที่แตกต่างกันได้
ตัวเลือกการปรับแต่ง
เราให้บริการปรับแต่งที่ยืดหยุ่นสำหรับแผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว รวมถึง:
-
การเรียงตัวของคริสตัล (ระนาบ C, ระนาบ A, ระนาบ R เป็นต้น)
-
ความหนาและความทนทานต่อเส้นผ่านศูนย์กลาง
-
การขัดเงาด้านเดียวหรือสองด้าน
-
โปรไฟล์ขอบและออกแบบมุมเฉียง
-
ข้อกำหนดเกี่ยวกับความหยาบและความเรียบของพื้นผิว
| พารามิเตอร์ | ข้อกำหนด | หมายเหตุ |
|---|---|---|
| เส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ | 12 นิ้ว (300 มิลลิเมตร) | เวเฟอร์ขนาดใหญ่มาตรฐาน |
| วัสดุ | แซฟไฟร์ผลึกเดี่ยว (Al₂O₃) | ความบริสุทธิ์สูง, ระดับอิเล็กทรอนิกส์/ออปติคอล |
| การเรียงตัวของคริสตัล | C-plane (0001), A-plane (11-20), R-plane (1-102) | มีกิจกรรมปฐมนิเทศให้เลือกตามความต้องการ |
| ความหนา | 430–500 ไมโครเมตร | สามารถสั่งทำตามความหนาที่ต้องการได้ |
| ความหนาที่อนุญาต | ±10 ไมโครเมตร | ความคลาดเคลื่อนที่แคบสำหรับอุปกรณ์ขั้นสูง |
| ความแปรผันของความหนาทั้งหมด (TTV) | ≤10 ไมโครเมตร | รับประกันการประมวลผลที่สม่ำเสมอทั่วทั้งเวเฟอร์ |
| โบว์ | ≤50 ไมโครเมตร | วัดจากทั้งแผ่นเวเฟอร์ |
| วาร์ป | ≤50 ไมโครเมตร | วัดจากทั้งแผ่นเวเฟอร์ |
| ผิวสำเร็จ | ขัดด้านเดียว (SSP) / ขัดสองด้าน (DSP) | พื้นผิวคุณภาพสูงทางแสง |
| ความหยาบผิว (Ra) | ≤0.5 นาโนเมตร (ขัดเงา) | ความเรียบเนียนในระดับอะตอมสำหรับการเจริญเติบโตแบบเอพิแทกเซียล |
| โปรไฟล์ขอบ | มุมตัด / ขอบมน | เพื่อป้องกันการแตกหักระหว่างการหยิบจับ |
| ความถูกต้องของการวัดทิศทาง | ±0.5° | รับประกันการเจริญเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียลอย่างถูกต้อง |
| ความหนาแน่นของข้อบกพร่อง | <10 ซม⁻² | วัดโดยการตรวจสอบด้วยแสง |
| ความเรียบ | ≤2 ไมโครเมตร / 100 มิลลิเมตร | รับประกันการพิมพ์ลิโธกราฟีและการเติบโตแบบเอพิแทกเซียลที่สม่ำเสมอ |
| ความสะอาด | คลาส 100 – คลาส 1000 | ห้องสะอาด |
| การส่งผ่านด้วยแสง | >85% (UV–IR) | ขึ้นอยู่กับความยาวคลื่นและความหนา |
คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับแผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว
คำถามที่ 1: ความหนาของแผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วมาตรฐานคือเท่าไร?
A: ความหนามาตรฐานอยู่ระหว่าง 430 μm ถึง 500 μm. สามารถผลิตความหนาตามความต้องการของลูกค้าได้เช่นกัน.
คำถามที่ 2: คริสตัลที่มีทิศทางใดบ้างที่มีให้สำหรับแผ่นแซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้ว?
A: เราให้บริการการวางแนวแบบ C-plane (0001), A-plane (11-20), และ R-plane (1-102) การวางแนวอื่น ๆ สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของอุปกรณ์เฉพาะ.
คำถามที่ 3: ความแปรผันของความหนาทั้งหมด (TTV) ของเวเฟอร์คือเท่าไร?
A: แผ่นเวเฟอร์แซฟไฟร์ขนาด 12 นิ้วของเรามักมีค่า TTV ≤10 μm ซึ่งรับประกันความสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์สำหรับการผลิตอุปกรณ์คุณภาพสูง.
รีวิว
ยังไม่มีบทวิจารณ์