Przegląd produktów
12-calowe wafle szafirowe są podłożami z szafiru monokrystalicznego o bardzo dużej średnicy, produkowanymi do zaawansowanych zastosowań półprzewodnikowych i optoelektronicznych. W porównaniu z tradycyjnymi 2-6-calowymi waflami szafirowymi, 12-calowe wafle szafirowe znacznie poprawiają wydajność produkcji, wykorzystanie materiału i jednorodność urządzenia, co czyni je idealnym wyborem dla diod LED nowej generacji, elektroniki mocy i zaawansowanych technologii pakowania.
Nasze 12-calowe wafle szafirowe są produkowane z wysokiej czystości monokryształów Al₂O₃ wyhodowanych za pomocą zaawansowanych metod wzrostu kryształów, a następnie precyzyjnego krojenia, docierania, polerowania i ścisłej kontroli jakości. Wafle charakteryzują się doskonałą płaskością powierzchni, niską gęstością defektów oraz wysoką stabilnością optyczną i mechaniczną, spełniając rygorystyczne wymagania dotyczące produkcji urządzeń o dużej powierzchni.
Charakterystyka materiału
Szafir (monokrystaliczny tlenek glinu, Al₂O₃) jest dobrze znany ze swoich wyjątkowych właściwości fizycznych i chemicznych. 12-calowe wafle szafirowe dziedziczą wszystkie zalety materiału szafirowego, zapewniając jednocześnie znacznie większą powierzchnię użytkową.
Kluczowe właściwości materiału obejmują:
-
Wyjątkowo wysoka twardość i odporność na zużycie
-
Doskonała stabilność termiczna i wysoka temperatura topnienia
-
Doskonała odporność chemiczna na kwasy i zasady
-
Wysoka przezroczystość optyczna w zakresie od UV do IR
-
Doskonałe właściwości izolacji elektrycznej
Te cechy sprawiają, że 12-calowe szafirowe płytki nadają się do trudnych warunków przetwarzania i wysokotemperaturowych procesów produkcji półprzewodników.
Proces produkcji
Produkcja 12-calowych wafli szafirowych wymaga zaawansowanego wzrostu kryształów i ultra-precyzyjnych technologii przetwarzania. Typowy proces produkcyjny obejmuje:
-
Wzrost pojedynczego kryształu
Kryształy szafiru o wysokiej czystości są hodowane przy użyciu zaawansowanych metod, takich jak KY lub inne technologie wzrostu kryształów o dużej średnicy, zapewniające jednolitą orientację kryształów i niskie naprężenia wewnętrzne. -
Kształtowanie i cięcie kryształów
Szafirowy wlewek jest precyzyjnie kształtowany i cięty na 12-calowe wafle przy użyciu wysoce precyzyjnego sprzętu tnącego, aby zminimalizować uszkodzenia podpowierzchniowe. -
Docieranie i polerowanie
Wieloetapowe procesy docierania i chemicznego polerowania mechanicznego (CMP) są stosowane w celu uzyskania doskonałej chropowatości powierzchni, płaskości i jednorodności grubości. -
Czyszczenie i inspekcja
Każdy 12-calowy wafel szafirowy przechodzi dokładne czyszczenie i ścisłą kontrolę, w tym analizę jakości powierzchni, TTV, łuku, wypaczenia i defektów.
Zastosowania
12-calowe wafle szafirowe są szeroko stosowane w zaawansowanych i powstających technologiach, w tym:
-
Podłoża LED o wysokiej mocy i jasności
-
Urządzenia zasilające i urządzenia RF oparte na GaN
-
Nośniki urządzeń półprzewodnikowych i podłoża izolacyjne
-
Okna optyczne i elementy optyczne o dużej powierzchni
-
Zaawansowane opakowania półprzewodnikowe i specjalne nośniki procesowe
Duża średnica umożliwia wyższą przepustowość i lepszą efektywność kosztową w produkcji masowej.
Zalety 12-calowych wafli szafirowych
-
Większa powierzchnia użytkowa zapewniająca wyższą wydajność urządzenia na wafel
-
Poprawiona spójność i jednolitość procesu
-
Niższy koszt w przeliczeniu na urządzenie w produkcji wielkoseryjnej
-
Doskonała wytrzymałość mechaniczna do obsługi dużych gabarytów
-
Możliwość dostosowania specyfikacji do różnych zastosowań
Opcje dostosowywania
Oferujemy elastyczne dostosowywanie 12-calowych wafli szafirowych, w tym:
-
Orientacja kryształu (płaszczyzna C, płaszczyzna A, płaszczyzna R itp.)
-
Tolerancja grubości i średnicy
-
Polerowanie jednostronne lub dwustronne
-
Profil krawędzi i konstrukcja fazowania
-
Wymagania dotyczące chropowatości i płaskości powierzchni
| Parametr | Specyfikacja | Uwagi |
|---|---|---|
| Średnica wafla | 12 cali (300 mm) | Standardowy wafel o dużej średnicy |
| Materiał | Szafir monokrystaliczny (Al₂O₃) | Wysoka czystość, klasa elektroniczna/optyczna |
| Orientacja kryształu | Płaszczyzna C (0001), płaszczyzna A (11-20), płaszczyzna R (1-102) | Dostępne opcjonalne orientacje |
| Grubość | 430-500 μm | Niestandardowa grubość dostępna na życzenie |
| Tolerancja grubości | ±10 μm | Ścisła tolerancja dla zaawansowanych urządzeń |
| Całkowita wariacja grubości (TTV) | ≤10 μm | Zapewnia jednolite przetwarzanie na waflu |
| Łuk | ≤50 μm | Mierzone na całym waflu |
| Osnowa | ≤50 μm | Mierzone na całym waflu |
| Wykończenie powierzchni | Jednostronnie polerowane (SSP) / dwustronnie polerowane (DSP) | Powierzchnia o wysokiej jakości optycznej |
| Chropowatość powierzchni (Ra) | ≤0,5 nm (polerowane) | Gładkość na poziomie atomowym dla wzrostu epitaksjalnego |
| Profil krawędzi | Faza / zaokrąglona krawędź | Aby zapobiec odpryskom podczas obsługi |
| Dokładność orientacji | ±0.5° | Zapewnia prawidłowy wzrost warstwy epitaksjalnej |
| Gęstość defektów | <10 cm-² | Pomiar za pomocą kontroli optycznej |
| Płaskość | ≤2 μm / 100 mm | Zapewnia jednolitą litografię i wzrost epitaksjalny |
| Czystość | Klasa 100 - Klasa 1000 | Kompatybilność z pomieszczeniami czystymi |
| Transmisja optyczna | >85% (UV-IR) | Zależy od długości i grubości fali |
12-calowy wafel szafirowy FAQ
P1: Jaka jest standardowa grubość 12-calowego wafla szafirowego?
Standardowa grubość wynosi od 430 μm do 500 μm. Niestandardowe grubości mogą być również produkowane zgodnie z wymaganiami klienta.
P2: Jakie orientacje kryształów są dostępne dla 12-calowych szafirowych płytek?
O: Oferujemy orientacje C-plane (0001), A-plane (11-20) i R-plane (1-102). Inne orientacje mogą być dostosowane do konkretnych wymagań urządzenia.
P3: Jaka jest całkowita zmiana grubości (TTV) wafla?
Nasze 12-calowe wafle szafirowe mają zazwyczaj TTV ≤10 μm, zapewniając jednorodność na całej powierzchni wafla w celu uzyskania wysokiej jakości produkcji urządzeń.
Opinie
Na razie nie ma opinii o produkcie.