Обзор продукции
12-дюймовые сапфировые пластины - это монокристаллические сапфировые подложки сверхбольшого диаметра, изготавливаемые для передовых полупроводниковых и оптоэлектронных применений. По сравнению с традиционными 2-6-дюймовыми сапфировыми пластинами, 12-дюймовые сапфировые пластины значительно повышают эффективность производства, использование материалов и однородность устройств, что делает их идеальным выбором для светодиодов нового поколения, силовой электроники и передовых упаковочных технологий.
Наши 12-дюймовые сапфировые пластины производятся из высокочистых монокристаллов Al₂O₃, выращенных с помощью передовых методов выращивания кристаллов, с последующей прецизионной нарезкой, притиркой, полировкой и строгим контролем качества. Подложки отличаются превосходной плоскостностью поверхности, низкой плотностью дефектов, высокой оптической и механической стабильностью и отвечают строгим требованиям к изготовлению устройств большой площади.
Характеристики материала
Сапфир (монокристаллический оксид алюминия, Al₂O₃) хорошо известен своими выдающимися физическими и химическими свойствами. 12-дюймовые сапфировые пластины унаследовали все преимущества сапфирового материала, обеспечивая при этом гораздо большую площадь полезной поверхности.
Основные характеристики материала включают:
-
Чрезвычайно высокая твердость и износостойкость
-
Отличная термическая стабильность и высокая температура плавления
-
Превосходная химическая стойкость к кислотам и щелочам
-
Высокая оптическая прозрачность от ультрафиолетового до инфракрасного диапазона длин волн
-
Отличные электроизоляционные свойства
Благодаря этим характеристикам 12-дюймовые сапфировые пластины подходят для работы в жестких условиях и высокотемпературных процессах производства полупроводников.
Производственный процесс
Производство 12-дюймовых сапфировых пластин требует применения передовых технологий выращивания кристаллов и сверхточной обработки. Типичный производственный процесс включает в себя:
-
Выращивание монокристаллов
Высокочистые кристаллы сапфира выращиваются с использованием передовых методов, таких как KY или другие технологии выращивания кристаллов большого диаметра, что обеспечивает равномерную ориентацию кристаллов и низкое внутреннее напряжение. -
Формирование и нарезка кристаллов
Сапфировый слиток точно формируется и нарезается на 12-дюймовые пластины с помощью высокоточного режущего оборудования, чтобы свести к минимуму повреждения подповерхностного слоя. -
Притирка и полировка
Многоступенчатые процессы притирки и химико-механической полировки (CMP) применяются для достижения превосходной шероховатости, плоскостности и равномерности толщины поверхности. -
Очистка и осмотр
Каждая 12-дюймовая сапфировая пластина проходит тщательную очистку и строгий контроль, включая качество поверхности, TTV, изгиб, искривление и анализ дефектов.
Приложения
12-дюймовые сапфировые пластины широко используются в передовых и развивающихся технологиях, включая:
-
Подложки для мощных и ярких светодиодов
-
Силовые и радиочастотные устройства на основе GaN
-
Носители и изолирующие подложки для полупроводникового оборудования
-
Оптические окна и оптические компоненты большой площади
-
Передовая полупроводниковая упаковка и специальные технологические носители
Большой диаметр позволяет увеличить пропускную способность и повысить экономическую эффективность при массовом производстве.
Преимущества 12-дюймовых сапфировых пластин
-
Увеличение полезной площади для повышения производительности устройств на пластину
-
Улучшение согласованности и однородности процесса
-
Снижение стоимости одного устройства при крупносерийном производстве
-
Отличная механическая прочность для работы с крупногабаритными предметами
-
Настраиваемые спецификации для различных применений
Параметры настройки
Мы предлагаем гибкую настройку 12-дюймовых сапфировых пластин, в том числе:
-
Ориентация кристалла (C-плоскость, A-плоскость, R-плоскость и т.д.)
-
Допуск на толщину и диаметр
-
Односторонняя или двухсторонняя полировка
-
Профиль кромок и фаски
-
Требования к шероховатости и плоскостности поверхности
| Параметр | Технические характеристики | Примечания |
|---|---|---|
| Диаметр пластины | 12 дюймов (300 мм) | Стандартные пластины большого диаметра |
| Материал | Монокристаллический сапфир (Al₂O₃) | Высокочистый, электронный/оптический класс |
| Ориентация кристаллов | С-плоскость (0001), А-плоскость (11-20), R-плоскость (1-102) | Возможны дополнительные ориентации |
| Толщина | 430-500 мкм | Нестандартная толщина доступна по запросу |
| Допуск по толщине | ±10 мкм | Жесткий допуск для передовых устройств |
| Общая вариация толщины (TTV) | ≤10 мкм | Обеспечивает равномерную обработку всей пластины |
| Лук | ≤50 мкм | Измерено по всей пластине |
| Warp | ≤50 мкм | Измерено по всей пластине |
| Отделка поверхности | Односторонняя полировка (SSP) / Двухсторонняя полировка (DSP) | Поверхность высокого оптического качества |
| Шероховатость поверхности (Ra) | ≤0,5 нм (полированный) | Гладкость на атомном уровне для эпитаксиального роста |
| Профиль края | Фаска / закругленный край | Для предотвращения сколов при обращении |
| Точность ориентации | ±0.5° | Обеспечивает надлежащий рост эпитаксиального слоя |
| Плотность дефектов | <10 см-² | Измеряется с помощью оптического контроля |
| Плоскость | ≤2 мкм / 100 мм | Обеспечивает равномерную литографию и эпитаксиальный рост |
| Чистота | Класс 100 - Класс 1000 | Совместимость с чистыми помещениями |
| Оптическая передача | >85% (UV-IR) | Зависит от длины волны и толщины |
12-дюймовая сапфировая пластина FAQ
Вопрос 1: Какова стандартная толщина 12-дюймовой сапфировой пластины?
A: Стандартная толщина варьируется от 430 мкм до 500 мкм. В соответствии с требованиями заказчика могут быть изготовлены нестандартные толщины.
Вопрос 2: Какие ориентации кристаллов доступны для 12-дюймовых сапфировых пластин?
О: Мы предлагаем ориентацию в C-плоскости (0001), A-плоскости (11-20) и R-плоскости (1-102). Другие ориентации могут быть разработаны в соответствии с требованиями конкретного устройства.
Вопрос 3: Какова общая вариация толщины (TTV) пластины?
О: Наши 12-дюймовые сапфировые пластины обычно имеют TTV ≤10 мкм, что обеспечивает однородность по всей поверхности пластины для изготовления высококачественных устройств.
Отзывы
Отзывов пока нет.