Panoramica del prodotto
I wafer di zaffiro da 12 pollici sono substrati di zaffiro monocristallino di diametro ultra grande prodotti per applicazioni avanzate di semiconduttori e optoelettronica. Rispetto ai tradizionali wafer in zaffiro da 2-6 pollici, i wafer in zaffiro da 12 pollici migliorano significativamente l'efficienza produttiva, l'utilizzo dei materiali e l'uniformità dei dispositivi, rendendoli la scelta ideale per i LED di nuova generazione, l'elettronica di potenza e le tecnologie di packaging avanzate.
I nostri wafer di zaffiro da 12 pollici sono prodotti da cristalli singoli di Al₂O₃ di elevata purezza cresciuti con metodi avanzati di crescita dei cristalli, seguiti da taglio di precisione, lappatura, lucidatura e rigoroso controllo di qualità. I wafer presentano un'eccellente planarità superficiale, una bassa densità di difetti e un'elevata stabilità ottica e meccanica, soddisfacendo i severi requisiti della fabbricazione di dispositivi di grandi dimensioni.

Caratteristiche del materiale
Lo zaffiro (ossido di alluminio monocristallino, Al₂O₃) è noto per le sue eccezionali proprietà fisiche e chimiche. I wafer di zaffiro da 12 pollici ereditano tutti i vantaggi del materiale zaffiro, pur offrendo una superficie utilizzabile molto più ampia.
Le caratteristiche principali del materiale includono:
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Durezza e resistenza all'usura estremamente elevate
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Eccellente stabilità termica ed elevato punto di fusione
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Resistenza chimica superiore ad acidi e alcali
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Elevata trasparenza ottica dalle lunghezze d'onda UV a quelle IR
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Eccellenti proprietà di isolamento elettrico
Queste caratteristiche rendono i wafer in zaffiro da 12 pollici adatti ad ambienti di lavorazione difficili e a processi di produzione di semiconduttori ad alta temperatura.
Processo di produzione
La produzione di wafer di zaffiro da 12 pollici richiede tecnologie avanzate di crescita del cristallo e di lavorazione ultraprecisa. Il tipico processo di produzione comprende:
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Crescita del cristallo singolo
I cristalli di zaffiro di elevata purezza sono coltivati con metodi avanzati come il KY o altre tecnologie di crescita di cristalli di grande diametro, che garantiscono un orientamento uniforme del cristallo e un basso stress interno. -
Modellatura e affettatura dei cristalli
Il lingotto di zaffiro viene modellato con precisione e tagliato in wafer da 12 pollici utilizzando apparecchiature di taglio ad alta precisione per ridurre al minimo i danni alla superficie. -
Lappatura e lucidatura
I processi di lappatura e lucidatura chimico-meccanica (CMP) a più fasi vengono applicati per ottenere un'eccellente rugosità superficiale, planarità e uniformità di spessore. -
Pulizia e ispezione
Ogni wafer di zaffiro da 12 pollici viene sottoposto a un'accurata pulizia e a un'ispezione rigorosa, che comprende la qualità della superficie, il TTV, l'arco, la curvatura e l'analisi dei difetti.
Applicazioni
I wafer di zaffiro da 12 pollici sono ampiamente utilizzati nelle tecnologie avanzate ed emergenti, tra cui:
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Substrati LED ad alta potenza e alta luminosità
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Dispositivi di potenza e dispositivi RF basati su GaN
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Supporti per apparecchiature a semiconduttore e substrati isolanti
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Finestre ottiche e componenti ottici a grande superficie
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Imballaggi avanzati per semiconduttori e supporti di processo speciali
L'ampio diametro consente una maggiore produttività e una migliore efficienza dei costi nella produzione di massa.
Vantaggi dei wafer di zaffiro da 12 pollici
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Area utilizzabile più ampia per una maggiore produzione di dispositivi per wafer
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Maggiore coerenza e uniformità del processo
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Riduzione del costo per dispositivo nella produzione di grandi volumi
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Eccellente resistenza meccanica per la movimentazione di grandi dimensioni
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Specifiche personalizzabili per diverse applicazioni

Opzioni di personalizzazione
Offriamo una personalizzazione flessibile per i wafer di zaffiro da 12 pollici, tra cui:
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Orientamento del cristallo (piano C, piano A, piano R, ecc.)
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Tolleranza su spessore e diametro
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Lucidatura su uno o due lati
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Profilo dei bordi e design degli smussi
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Requisiti di rugosità e planarità della superficie
| Parametro | Specifiche | Note |
|---|---|---|
| Diametro del wafer | 12 pollici (300 mm) | Wafer standard di grande diametro |
| Materiale | Zaffiro a cristallo singolo (Al₂O₃) | Alta purezza, grado elettronico/ottico |
| Orientamento del cristallo | Piano C (0001), piano A (11-20), piano R (1-102) | Orientamenti opzionali disponibili |
| Spessore | 430-500 μm | Spessore personalizzato disponibile su richiesta |
| Tolleranza di spessore | ±10 μm | Tolleranza ridotta per dispositivi avanzati |
| Variazione dello spessore totale (TTV) | ≤10 μm | Assicura una lavorazione uniforme su tutto il wafer |
| Arco | ≤50 μm | Misurato sull'intero wafer |
| Ordito | ≤50 μm | Misurato sull'intero wafer |
| Finitura superficiale | Lucidato su un solo lato (SSP) / Lucidato su due lati (DSP) | Superficie di alta qualità ottica |
| Rugosità superficiale (Ra) | ≤0,5 nm (lucidato) | Levigatezza a livello atomico per la crescita epitassiale |
| Profilo del bordo | Smusso / Bordo arrotondato | Per evitare di scheggiarsi durante la manipolazione |
| Precisione di orientamento | ±0.5° | Assicura la corretta crescita dello strato epitassiale |
| Densità dei difetti | <10 cm-² | Misurato tramite ispezione ottica |
| Piattezza | ≤2 μm / 100 mm | Assicura una litografia e una crescita epitassiale uniformi |
| Pulizia | Classe 100 - Classe 1000 | Compatibile con la camera bianca |
| Trasmissione ottica | >85% (UV-IR) | Dipende dalla lunghezza d'onda e dallo spessore |
12 pollici Sapphire Wafer FAQ
D1: Qual è lo spessore standard di un wafer di zaffiro da 12 pollici?
R: Lo spessore standard va da 430 μm a 500 μm. È possibile produrre anche spessori personalizzati in base alle esigenze del cliente.
D2: Quali orientamenti del cristallo sono disponibili per i wafer di zaffiro da 12 pollici?
R: Offriamo gli orientamenti del piano C (0001), A (11-20) e R (1-102). Altri orientamenti possono essere personalizzati in base ai requisiti specifici del dispositivo.
D3: Qual è la variazione di spessore totale (TTV) del wafer?
R: I nostri wafer di zaffiro da 12 pollici hanno in genere un TTV ≤10 μm, che garantisce l'uniformità sull'intera superficie del wafer per la produzione di dispositivi di alta qualità.





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