Visão geral do produto
Os wafers de safira de 12 polegadas são substratos de safira monocristalina de diâmetro ultra grande fabricados para aplicações avançadas de semicondutores e optoelectrónica. Em comparação com os tradicionais wafers de safira de 2-6 polegadas, os wafers de safira de 12 polegadas melhoram significativamente a eficiência da produção, a utilização de materiais e a uniformidade dos dispositivos, tornando-os a escolha ideal para a próxima geração de LED, eletrónica de potência e tecnologias avançadas de embalagem.
As nossas bolachas de safira de 12 polegadas são produzidas a partir de monocristais de Al₂O₃ de alta pureza cultivados por métodos avançados de crescimento de cristais, seguidos de corte de precisão, lapidação, polimento e inspeção de qualidade rigorosa. As bolachas apresentam uma excelente planicidade da superfície, baixa densidade de defeitos e elevada estabilidade ótica e mecânica, satisfazendo os requisitos rigorosos do fabrico de dispositivos de grande área.

Caraterísticas do material
A safira (óxido de alumínio monocristalino, Al₂O₃) é bem conhecida pelas suas excelentes propriedades físicas e químicas. As bolachas de safira de 12 polegadas herdam todas as vantagens do material de safira, proporcionando uma área de superfície utilizável muito maior.
As principais caraterísticas do material incluem:
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Dureza e resistência ao desgaste extremamente elevadas
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Excelente estabilidade térmica e elevado ponto de fusão
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Resistência química superior a ácidos e álcalis
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Elevada transparência ótica dos comprimentos de onda UV a IV
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Excelentes propriedades de isolamento elétrico
Estas caraterísticas tornam os wafers de safira de 12 polegadas adequados para ambientes de processamento difíceis e processos de fabrico de semicondutores a alta temperatura.
Processo de fabrico
A produção de bolachas de safira de 12 polegadas requer tecnologias avançadas de crescimento de cristais e de processamento de ultra-precisão. O processo de fabrico típico inclui:
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Crescimento de um único cristal
Os cristais de safira de elevada pureza são cultivados através de métodos avançados, como o KY ou outras tecnologias de crescimento de cristais de grande diâmetro, garantindo uma orientação uniforme dos cristais e uma baixa tensão interna. -
Moldagem e corte de cristais
O lingote de safira é moldado com precisão e cortado em bolachas de 12 polegadas utilizando equipamento de corte de alta precisão para minimizar os danos subsuperficiais. -
Lapidação e polimento
Os processos de lapidação em várias etapas e de polimento químico-mecânico (CMP) são aplicados para obter uma excelente rugosidade superficial, planicidade e uniformidade de espessura. -
Limpeza e inspeção
Cada bolacha de safira de 12 polegadas é submetida a uma limpeza minuciosa e a uma inspeção rigorosa, incluindo a qualidade da superfície, o TTV, a curvatura, a deformação e a análise de defeitos.
Aplicações
Os wafers de safira de 12 polegadas são amplamente utilizados em tecnologias avançadas e emergentes, incluindo:
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Substratos de LED de alta potência e alto brilho
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Dispositivos de potência e dispositivos RF baseados em GaN
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Suportes de equipamento de semicondutores e substratos isolantes
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Janelas ópticas e componentes ópticos de grande superfície
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Embalagem avançada de semicondutores e suportes de processos especiais
O grande diâmetro permite um maior rendimento e uma melhor eficiência de custos na produção em massa.
Vantagens das bolachas de safira de 12 polegadas
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Maior área útil para maior produção de dispositivos por bolacha
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Melhoria da consistência e uniformidade do processo
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Custo reduzido por dispositivo em produções de grande volume
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Excelente resistência mecânica para manuseamento de grandes dimensões
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Especificações personalizáveis para diferentes aplicações

Opções de personalização
Oferecemos personalização flexível para wafers de safira de 12 polegadas, incluindo:
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Orientação do cristal (plano C, plano A, plano R, etc.)
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Tolerância de espessura e diâmetro
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Polimento de uma ou duas faces
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Desenho do perfil da aresta e do chanfro
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Requisitos de rugosidade e planicidade da superfície
| Parâmetro | Especificação | Notas |
|---|---|---|
| Diâmetro da pastilha | 12 polegadas (300 mm) | Pastilha standard de grande diâmetro |
| Material | Safira monocristalina (Al₂O₃) | Alta pureza, grau eletrónico/ótico |
| Orientação do cristal | Plano C (0001), plano A (11-20), plano R (1-102) | Orientações opcionais disponíveis |
| Espessura | 430-500 μm | Espessura personalizada disponível mediante pedido |
| Tolerância de espessura | ±10 μm | Tolerância apertada para dispositivos avançados |
| Variação da espessura total (TTV) | ≤10 μm | Assegura um processamento uniforme em toda a bolacha |
| Arco | ≤50 μm | Medido em toda a bolacha |
| Deformar | ≤50 μm | Medido em toda a bolacha |
| Acabamento da superfície | Polimento de uma face (SSP) / Polimento de duas faces (DSP) | Superfície de elevada qualidade ótica |
| Rugosidade da superfície (Ra) | ≤0,5 nm (polido) | Suavidade a nível atómico para crescimento epitaxial |
| Perfil da borda | Chanfro / Aresta arredondada | Para evitar lascas durante o manuseamento |
| Precisão da orientação | ±0.5° | Assegura o crescimento adequado da camada epitaxial |
| Densidade de defeitos | <10 cm-² | Medida por inspeção ótica |
| Planicidade | ≤2 μm / 100 mm | Assegura uma litografia uniforme e um crescimento epitaxial |
| Limpeza | Classe 100 - Classe 1000 | Compatível com salas limpas |
| Transmissão ótica | >85% (UV-IR) | Depende do comprimento de onda e da espessura |
FAQ sobre a pastilha de safira de 12 polegadas
Q1: Qual é a espessura padrão de uma pastilha de safira de 12 polegadas?
R: A espessura padrão varia entre 430 μm e 500 μm. As espessuras personalizadas também podem ser produzidas de acordo com os requisitos do cliente.
Q2: Que orientações de cristal estão disponíveis para os wafers de safira de 12 polegadas?
R: Oferecemos as orientações do plano C (0001), do plano A (11-20) e do plano R (1-102). Outras orientações podem ser personalizadas com base nos requisitos específicos do dispositivo.
Q3: Qual é a variação de espessura total (TTV) da bolacha?
R: As nossas bolachas de safira de 12 polegadas têm normalmente um TTV ≤10 μm, assegurando uniformidade em toda a superfície da bolacha para o fabrico de dispositivos de alta qualidade.





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