Tuotteen yleiskatsaus
12 tuuman safiirikiekot ovat erittäin suuria halkaisijaltaan yksikiteisiä safiirialustoja, joita valmistetaan kehittyneisiin puolijohde- ja optoelektroniikkasovelluksiin. Perinteisiin 2-6 tuuman safiirikiekkoihin verrattuna 12 tuuman safiirikiekot parantavat merkittävästi tuotannon tehokkuutta, materiaalin käyttöä ja laitteen tasalaatuisuutta, mikä tekee niistä ihanteellisen valinnan seuraavan sukupolven LED-, tehoelektroniikka- ja kehittyneisiin pakkaustekniikoihin.
12 tuuman safiirikiekot valmistetaan erittäin puhtaista Al₂O₃-yksittäiskiteistä, jotka on kasvatettu kehittyneillä kiteenkasvatusmenetelmillä, minkä jälkeen suoritetaan tarkkuusviipalointi, läpivienti, kiillotus ja tiukka laadunvalvonta. Kiekkoilla on erinomainen pinnan tasaisuus, alhainen vikatiheys ja korkea optinen ja mekaaninen stabiilisuus, jotka täyttävät suuren pinta-alan laitevalmistuksen tiukat vaatimukset.
Materiaalin ominaisuudet
Safiiri (yksikiteinen alumiinioksidi, Al₂O₃) on tunnettu erinomaisista fysikaalisista ja kemiallisista ominaisuuksistaan. 12 tuuman safiirikiekkoihin sisältyvät kaikki safiirimateriaalin edut, mutta niiden käyttökelpoinen pinta-ala on paljon suurempi.
Materiaalin tärkeimpiä ominaisuuksia ovat:
-
Erittäin suuri kovuus ja kulutuskestävyys
-
Erinomainen lämmönkestävyys ja korkea sulamispiste
-
Erinomainen kemiallinen kestävyys happoja ja emäksiä vastaan
-
Suuri optinen läpinäkyvyys UV-aallonpituuksista IR-aallonpituuksiin asti.
-
Erinomaiset sähköiset eristysominaisuudet
Näiden ominaisuuksien ansiosta 12 tuuman safiirikiekot soveltuvat vaativiin käsittely-ympäristöihin ja korkean lämpötilan puolijohteiden valmistusprosesseihin.
Valmistusprosessi
12 tuuman safiirikiekkojen tuotanto edellyttää kehittynyttä kiteen kasvattamista ja erittäin tarkkaa käsittelytekniikkaa. Tyypilliseen valmistusprosessiin kuuluu:
-
Yksikiteinen kasvu
Erittäin puhtaat safiirikiteet kasvatetaan kehittyneillä menetelmillä, kuten KY-menetelmällä tai muilla suuren halkaisijan kiteiden kasvatustekniikoilla, joilla varmistetaan kiteiden tasainen suuntautuminen ja alhainen sisäinen jännitys. -
Kristallien muotoilu ja viipalointi
Safiiriharkko muotoillaan tarkasti ja leikataan 12 tuuman kiekoiksi käyttäen erittäin tarkkoja leikkauslaitteita, jotta pinnassa olevat vauriot saadaan minimoitua. -
Höyläys ja kiillotus
Erinomaisen pinnankarheuden, tasaisuuden ja paksuuden tasaisuuden saavuttamiseksi käytetään monivaiheisia hiomapintoja ja kemiallisia mekaanisia kiillotusprosesseja (CMP). -
Puhdistus ja tarkastus
Jokainen 12 tuuman safiirikiekko puhdistetaan perusteellisesti ja tarkastetaan tarkasti, mukaan lukien pinnan laatu, TTV, jousitus, vääntyminen ja virheanalyysi.
Sovellukset
12 tuuman safiirikiekkoja käytetään laajalti kehittyneissä ja uusissa teknologioissa, kuten:
-
Suuritehoiset ja kirkkaat LED-substraatit
-
GaN-pohjaiset teho- ja RF-laitteet
-
Puolijohdekomponenttien kantoaineet ja eristävät substraatit
-
Optiset ikkunat ja suurikokoiset optiset komponentit
-
Kehittyneet puolijohdepakkaukset ja erikoisprosessikannattimet
Suuri halkaisija mahdollistaa suuremman läpimenon ja paremman kustannustehokkuuden massatuotannossa.
12 tuuman safiirikiekkojen edut
-
Suurempi käyttökelpoinen pinta-ala mahdollistaa suuremman laitetuotoksen kiekkoa kohti.
-
Parempi prosessin johdonmukaisuus ja yhtenäisyys
-
Pienemmät laitekohtaiset kustannukset suurissa tuotantomäärissä
-
Erinomainen mekaaninen lujuus suurten kokojen käsittelyyn
-
Räätälöitävissä olevat eritelmät eri sovelluksia varten
Mukauttamisvaihtoehdot
Tarjoamme 12 tuuman safiirikiekkojen joustavaa räätälöintiä, mukaan lukien:
-
Kiteen suuntaus (C-taso, A-taso, R-taso jne.).
-
Paksuuden ja halkaisijan toleranssi
-
Yksi- tai kaksipuolinen kiillotus
-
Reunaprofiilin ja viisteen suunnittelu
-
Pinnan karheutta ja tasaisuutta koskevat vaatimukset
| Parametri | Tekniset tiedot | Huomautukset |
|---|---|---|
| Kiekon halkaisija | 12 tuumaa (300 mm) | Suuren halkaisijan standardikiekko |
| Materiaali | Yksikiteinen safiiri (Al₂O₃) | Erittäin puhdas, elektroninen/optinen laatu |
| Kristallien suuntaus | C-taso (0001), A-taso (11-20), R-taso (1-102). | Valinnaisia suuntauksia saatavilla |
| Paksuus | 430-500 μm | Mukautettu paksuus saatavana pyynnöstä |
| Paksuuden toleranssi | ±10 μm | Tiukka toleranssi kehittyneille laitteille |
| Kokonaispaksuuden vaihtelu (TTV) | ≤10 μm | Varmistaa tasaisen käsittelyn koko kiekon alueella |
| Keula | ≤50 μm | Mitattu koko kiekolta |
| Warp | ≤50 μm | Mitattu koko kiekolta |
| Pinnan viimeistely | Yksipuolinen kiillotettu (SSP) / Kaksipuolinen kiillotettu (DSP) | Korkean optisen laadun pinta |
| Pinnan karheus (Ra) | ≤0,5 nm (kiillotettu) | Atomitason tasaisuus epitaksiaalisessa kasvussa |
| Reunaprofiili | Viiste / pyöristetty reuna | Käsittelyn aikana tapahtuvan lohkeilun estämiseksi |
| Suuntauksen tarkkuus | ±0.5° | Varmistaa asianmukaisen epitaksikerroksen kasvun |
| Vian tiheys | <10 cm-² | Mitataan optisella tarkastuksella |
| Tasaisuus | ≤2 μm / 100 mm | Varmistaa tasaisen litografian ja epitaksikasvun. |
| Puhtaus | Luokka 100 - Luokka 1000 | Puhdastila-yhteensopiva |
| Optinen siirto | >85% (UV-IR) | Riippuu aallonpituudesta ja paksuudesta |
12 tuuman Sapphire Wafer FAQ
Q1: Mikä on 12 tuuman safiirikiekon vakiopaksuus?
V: Vakiopaksuus vaihtelee 430 μm:stä 500 μm:iin. Asiakaskohtaisia paksuuksia voidaan myös valmistaa asiakkaan vaatimusten mukaan.
Kysymys 2: Mitä kideorientaatioita on saatavilla 12 tuuman safiirikiekkoihin?
V: Tarjoamme C-tason (0001), A-tason (11-20) ja R-tason (1-102) suuntauksia. Muita suuntauksia voidaan räätälöidä laitteen erityisvaatimusten mukaan.
Kysymys 3: Mikä on kiekon kokonaispaksuuden vaihtelu (TTV)?
V: 12 tuuman safiirikiekkojemme TTV on tyypillisesti ≤10 μm, mikä takaa tasaisuuden koko kiekon pinnalla laadukkaan laitevalmistuksen kannalta.
Arviot
Tuotearvioita ei vielä ole.