Produktöversikt
12-tums safirskivor är enkristallina safirsubstrat med ultrastor diameter som tillverkas för avancerade halvledar- och optoelektroniska applikationer. Jämfört med traditionella 2-6-tums safirskivor förbättrar 12-tums safirskivor avsevärt produktionseffektiviteten, materialutnyttjandet och enhetens enhetlighet, vilket gör dem till ett idealiskt val för nästa generations LED, kraftelektronik och avancerad förpackningsteknik.
Våra 12-tums safirskivor tillverkas av Al₂O₃-enkelkristaller med hög renhet som odlas med avancerade kristalltillväxtmetoder, följt av precisionsskärning, lappning, polering och strikt kvalitetskontroll. Wafers har utmärkt ytplanhet, låg defektdensitet och hög optisk och mekanisk stabilitet, vilket uppfyller de stränga kraven för tillverkning av enheter med stora ytor.
Materialegenskaper
Safir (enkristallin aluminiumoxid, Al₂O₃) är välkänt för sina enastående fysikaliska och kemiska egenskaper. 12-tums safirskivor har alla fördelar med safirmaterialet samtidigt som de ger en mycket större användbar yta.
Viktiga materialegenskaper inkluderar:
-
Extremt hög hårdhet och slitstyrka
-
Utmärkt termisk stabilitet och hög smältpunkt
-
Överlägsen kemisk beständighet mot syror och alkalier
-
Hög optisk transparens från UV- till IR-våglängder
-
Utmärkta elektriska isoleringsegenskaper
Dessa egenskaper gör 12-tums safirskivor lämpliga för tuffa bearbetningsmiljöer och tillverkningsprocesser för halvledare med hög temperatur.
Tillverkningsprocess
Tillverkningen av 12-tums safirskivor kräver avancerad kristalltillväxt och bearbetningsteknik med ultraprecision. Den typiska tillverkningsprocessen inkluderar:
-
Tillväxt av enstaka kristaller
Safirkristaller med hög renhet odlas med hjälp av avancerade metoder som KY eller andra tekniker för kristalltillväxt med stor diameter, vilket säkerställer enhetlig kristallorientering och låg inre spänning. -
Formning och skivning av kristaller
Safirgötet formas exakt och skivas i 12-tumsskivor med hjälp av skärutrustning med hög noggrannhet för att minimera skador under ytan. -
Läppning och polering
Läppning i flera steg och kemisk mekanisk polering (CMP) används för att uppnå utmärkt ytjämnhet, planhet och jämnhet i tjockleken. -
Rengöring och inspektion
Varje 12-tums safirskiva genomgår noggrann rengöring och strikt inspektion, inklusive ytkvalitet, TTV, båge, varp och defektanalys.
Tillämpningar
12 tums safirskivor används ofta i avancerad och ny teknik, inklusive:
-
LED-substrat med hög effekt och ljusstyrka
-
GaN-baserade kraft- och RF-enheter
-
Bärare för halvledarutrustning och isolerande substrat
-
Optiska fönster och optiska komponenter med stor yta
-
Avancerade halvledarförpackningar och speciella processbärare
Den stora diametern möjliggör högre genomströmning och förbättrad kostnadseffektivitet vid massproduktion.
Fördelar med 12 tums safirskivor
-
Större användbar yta för högre enhetsproduktion per wafer
-
Förbättrad processkonsistens och enhetlighet
-
Minskad kostnad per enhet vid produktion av stora volymer
-
Utmärkt mekanisk styrka för hantering av stora volymer
-
Anpassningsbara specifikationer för olika applikationer
Anpassningsalternativ
Vi erbjuder flexibel anpassning för 12 tums safirskivor, inklusive:
-
Kristallorientering (C-plan, A-plan, R-plan etc.)
-
Tolerans för tjocklek och diameter
-
Enkelsidig eller dubbelsidig polering
-
Design av kantprofil och avfasning
-
Krav på ytjämnhet och planhet
| Parameter | Specifikation | Anteckningar |
|---|---|---|
| Wafer Diameter | 12 tum (300 mm) | Standardskiva med stor diameter |
| Material | Enkristallin safir (Al₂O₃) | Hög renhet, elektronisk/optisk kvalitet |
| Kristallorientering | C-plan (0001), A-plan (11-20), R-plan (1-102) | Valfri orientering tillgänglig |
| Tjocklek | 430-500 μm | Anpassad tjocklek tillgänglig på begäran |
| Tjocklek Tolerans | ±10 μm | Snäva toleranser för avancerade enheter |
| Total tjockleksvariation (TTV) | ≤10 μm | Säkerställer enhetlig bearbetning över hela wafern |
| Båge | ≤50 μm | Mätt över hela wafern |
| Varp | ≤50 μm | Mätt över hela wafern |
| Ytfinish | Enkelsidigt polerad (SSP) / Dubbelsidigt polerad (DSP) | Yta av hög optisk kvalitet |
| Ytjämnhet (Ra) | ≤0,5 nm (polerad) | Smidighet på atomnivå för epitaxiell tillväxt |
| Kantprofil | Avfasning / Rundad kant | För att förhindra flisbildning under hantering |
| Orienteringsnoggrannhet | ±0.5° | Säkerställer korrekt tillväxt av epitaxiella skikt |
| Defekt densitet | <10 cm-² | Mäts genom optisk inspektion |
| Planhet | ≤2 μm / 100 mm | Säkerställer enhetlig litografi och epitaxial tillväxt |
| Renhet | Klass 100 - Klass 1000 | Kompatibel med renrum |
| Optisk överföring | >85% (UV-IR) | Beror på våglängd och tjocklek |
12 tums safirskiva FAQ
F1: Vad är standardtjockleken på en 12-tums safirskiva?
S: Standardtjockleken varierar från 430 μm till 500 μm. Anpassade tjocklekar kan också produceras enligt kundens krav.
F2: Vilka kristallorienteringar finns tillgängliga för 12-tums safirskivor?
S: Vi erbjuder orientering i C-plan (0001), A-plan (11-20) och R-plan (1-102). Andra orienteringar kan anpassas utifrån specifika enhetskrav.
F3: Vad är den totala tjockleksvariationen (TTV) för wafern?
S: Våra 12-tums safirskivor har vanligtvis en TTV ≤10 μm, vilket säkerställer enhetlighet över hela skivytan för högkvalitativ enhetstillverkning.
Recensioner
Det finns inga recensioner än.