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Las obleas de zafiro de 12 pulgadas son sustratos de zafiro monocristalino de diámetro ultra grande fabricados para aplicaciones avanzadas de semiconductores y optoelectrónica. En comparación con las obleas de zafiro tradicionales de 2 a 6 pulgadas, las obleas de zafiro de 12 pulgadas mejoran significativamente la eficiencia de la producción, la utilización del material y la uniformidad de los dispositivos, lo que las convierte en la opción ideal para la próxima generación de LED, la electrónica de potencia y las tecnologías avanzadas de envasado.

Nuestras obleas de zafiro de 12 pulgadas se fabrican a partir de monocristales de Al₂O₃ de gran pureza cultivados mediante avanzados métodos de crecimiento cristalino, seguidos de un corte de precisión, lapeado, pulido y una estricta inspección de calidad. Las obleas presentan una excelente planitud superficial, baja densidad de defectos y gran estabilidad óptica y mecánica, y cumplen los estrictos requisitos de la fabricación de dispositivos de gran superficie.

Características de los materiales

El zafiro (óxido de aluminio monocristalino, Al₂O₃) es conocido por sus extraordinarias propiedades físicas y químicas. Las obleas de zafiro de 12 pulgadas heredan todas las ventajas del material de zafiro a la vez que ofrecen una superficie útil mucho mayor.

Entre las principales características del material figuran:

• Dureza y resistencia al desgaste extremadamente altas

• Excelente estabilidad térmica y alto punto de fusión

• Resistencia química superior a ácidos y álcalis

• Alta transparencia óptica de las longitudes de onda UV a IR

• Excelentes propiedades de aislamiento eléctrico

Estas características hacen que las obleas de zafiro de 12 pulgadas sean adecuadas para entornos de procesamiento difíciles y procesos de fabricación de semiconductores a alta temperatura.

Proceso de fabricación

La producción de obleas de zafiro de 12 pulgadas requiere tecnologías avanzadas de crecimiento del cristal y procesamiento de ultraprecisión. El proceso de fabricación típico incluye:

1. Crecimiento de un solo cristal
   Los cristales de zafiro de gran pureza se cultivan mediante métodos avanzados, como KY u otras tecnologías de crecimiento de cristales de gran diámetro, que garantizan una orientación uniforme de los cristales y una baja tensión interna.

2. Moldeado y corte de cristales
   El lingote de zafiro se moldea con precisión y se corta en obleas de 12 pulgadas utilizando equipos de corte de alta precisión para minimizar los daños subsuperficiales.

3. Lapeado y pulido
   Se aplican procesos de lapeado en varios pasos y pulido mecánico químico (CMP) para lograr una excelente rugosidad superficial, planitud y uniformidad de espesor.

4. Limpieza e inspección
   Cada oblea de zafiro de 12 pulgadas se somete a una limpieza exhaustiva y a una inspección estricta, que incluye la calidad de la superficie, el TTV, el arco, el alabeo y el análisis de defectos.

Aplicaciones

Las obleas de zafiro de 12 pulgadas se utilizan ampliamente en tecnologías avanzadas y emergentes, como:

• Sustratos LED de alta potencia y brillo

• Dispositivos de potencia y RF basados en GaN

• Soporte de equipos semiconductores y sustratos aislantes

• Ventanas ópticas y componentes ópticos de gran superficie

• Embalaje de semiconductores avanzados y soportes de procesos especiales

El gran diámetro permite un mayor rendimiento y una mayor rentabilidad en la producción en serie.

Ventajas de las obleas de zafiro de 12 pulgadas

• Mayor superficie útil para una mayor producción de dispositivos por oblea

• Mejora de la coherencia y uniformidad del proceso

• Reducción del coste por dispositivo en la producción de grandes volúmenes

• Excelente resistencia mecánica para la manipulación de gran tamaño

• Especificaciones personalizables para distintas aplicaciones

Opciones de personalización

Ofrecemos personalización flexible para obleas de zafiro de 12 pulgadas, incluyendo:

• Orientación del cristal (plano C, plano A, plano R, etc.)

• Tolerancia de grosor y diámetro

• Pulido por una o dos caras

• Diseño del perfil de los cantos y del chaflán

• Requisitos de rugosidad y planitud de la superficie

Oblea de zafiro de 12 pulgadas FAQ

P1: ¿Cuál es el grosor estándar de una oblea de zafiro de 12 pulgadas?
R: El grosor estándar oscila entre 430 μm y 500 μm. También se pueden fabricar espesores personalizados según los requisitos del cliente.

P2: ¿Qué orientaciones de cristal hay disponibles para las obleas de zafiro de 12 pulgadas?
R: Ofrecemos orientaciones de plano C (0001), plano A (11-20) y plano R (1-102). Se pueden personalizar otras orientaciones en función de los requisitos específicos del dispositivo.

P3: ¿Cuál es la variación de espesor total (VET) de la oblea?
R: Nuestras obleas de zafiro de 12 pulgadas suelen tener un TTV ≤10 μm, lo que garantiza la uniformidad en toda la superficie de la oblea para la fabricación de dispositivos de alta calidad.