Přehled produktů
12palcové safírové destičky jsou monokrystalické safírové substráty s velmi velkým průměrem vyráběné pro pokročilé polovodičové a optoelektronické aplikace. Ve srovnání s tradičními 2-6palcovými safírovými destičkami 12palcové safírové destičky výrazně zvyšují efektivitu výroby, využití materiálu a rovnoměrnost zařízení, takže jsou ideální volbou pro LED diody nové generace, výkonovou elektroniku a pokročilé obalové technologie.
Naše 12palcové safírové destičky se vyrábějí z vysoce čistých monokrystalů Al₂O₃ vypěstovaných pokročilými metodami růstu krystalů, po nichž následuje přesné krájení, lapování, leštění a přísná kontrola kvality. Destičky se vyznačují vynikající rovinností povrchu, nízkou hustotou defektů a vysokou optickou a mechanickou stabilitou, čímž splňují přísné požadavky na výrobu velkoplošných zařízení.
Charakteristika materiálu
Safír (monokrystalický oxid hlinitý, Al₂O₃) je dobře známý pro své vynikající fyzikální a chemické vlastnosti. Dvanáctipalcové safírové destičky dědí všechny výhody safírového materiálu a zároveň poskytují mnohem větší využitelnou plochu.
Mezi klíčové vlastnosti materiálu patří:
-
Extrémně vysoká tvrdost a odolnost proti opotřebení
-
Vynikající tepelná stabilita a vysoký bod tání
-
Vynikající chemická odolnost vůči kyselinám a zásadám
-
Vysoká optická průhlednost od UV až po IR vlnové délky
-
Vynikající elektrické izolační vlastnosti
Díky těmto vlastnostem jsou 12palcové safírové destičky vhodné pro náročné podmínky zpracování a vysokoteplotní výrobní procesy polovodičů.
Výrobní proces
Výroba 12palcových safírových destiček vyžaduje pokročilé technologie růstu krystalů a velmi přesné zpracování. Typický výrobní proces zahrnuje:
-
Růst jednotlivých krystalů
Krystaly safíru vysoké čistoty se pěstují pomocí pokročilých metod, jako je KY nebo jiné technologie růstu krystalů o velkém průměru, které zajišťují rovnoměrnou orientaci krystalů a nízké vnitřní napětí. -
Tvarování a krájení krystalů
Safírový ingot se přesně tvaruje a krájí na 12palcové plátky pomocí vysoce přesného řezacího zařízení, aby se minimalizovalo podpovrchové poškození. -
Lapování a leštění
K dosažení vynikající drsnosti, rovinnosti a rovnoměrnosti tloušťky povrchu se používají vícestupňové lapovací a chemicko-mechanické lešticí procesy (CMP). -
Čištění a kontrola
Každý 12palcový safírový plátek prochází důkladným čištěním a přísnou kontrolou, včetně analýzy kvality povrchu, TTV, prohnutí, deformace a vad.
Aplikace
12palcové safírové destičky se široce používají v pokročilých a nových technologiích, včetně:
-
Vysoce výkonné a vysoce svítivé LED substráty
-
Výkonová zařízení a RF zařízení na bázi GaN
-
Nosiče polovodičových zařízení a izolační substráty
-
Optická okna a velkoplošné optické komponenty
-
Pokročilé balení polovodičů a speciální procesní nosiče
Velký průměr umožňuje vyšší průchodnost a lepší nákladovou efektivitu při hromadné výrobě.
Výhody 12palcových safírových plátků
-
Větší využitelná plocha pro vyšší výkon zařízení na destičku
-
Zlepšená konzistence a jednotnost procesu
-
Snížení nákladů na zařízení při velkosériové výrobě
-
Vynikající mechanická pevnost pro manipulaci s velkými rozměry
-
Přizpůsobitelné specifikace pro různé aplikace
Možnosti přizpůsobení
Nabízíme flexibilní přizpůsobení 12palcových safírových destiček, včetně:
-
Orientace krystalu (rovina C, rovina A, rovina R atd.)
-
Tolerance tloušťky a průměru
-
Jednostranné nebo oboustranné leštění
-
Profil hrany a zkosení
-
Požadavky na drsnost a rovinnost povrchu
| Parametr | Specifikace | Poznámky |
|---|---|---|
| Průměr destičky | 12 palců (300 mm) | Standardní oplatka velkého průměru |
| Materiál | Monokrystalický safír (Al₂O₃) | Vysoce čistá, elektronická/optická třída |
| Orientace na krystaly | rovina C (0001), rovina A (11-20), rovina R (1-102) | Volitelná orientace k dispozici |
| Tloušťka | 430-500 μm | Na vyžádání je k dispozici vlastní tloušťka |
| Tolerance tloušťky | ±10 μm | Přísná tolerance pro pokročilá zařízení |
| Celková odchylka tloušťky (TTV) | ≤10 μm | Zajišťuje rovnoměrné zpracování napříč destičkou |
| Luk | ≤50 μm | Měřeno na celé destičce |
| Warp | ≤50 μm | Měřeno na celé destičce |
| Povrchová úprava | Jednostranně leštěné (SSP) / oboustranně leštěné (DSP) | Vysoká optická kvalita povrchu |
| Drsnost povrchu (Ra) | ≤0,5 nm (leštěné) | Hladkost na atomární úrovni pro epitaxní růst |
| Hranatý profil | Zkosení / zaoblení hran | Aby se zabránilo odštípnutí při manipulaci |
| Přesnost orientace | ±0.5° | Zajišťuje správný růst epitaxní vrstvy |
| Hustota defektů | <10 cm-² | Měřeno optickou kontrolou |
| Plochost | ≤2 μm / 100 mm | Zajišťuje rovnoměrnou litografii a epitaxní růst. |
| Čistota | Třída 100 - třída 1000 | Kompatibilní s čistými prostory |
| Optický přenos | >85% (UV-IR) | Závisí na vlnové délce a tloušťce |
12palcové safírové oplatky
Otázka 1: Jaká je standardní tloušťka 12palcového safírového plátku?
Odpověď: Standardní tloušťka se pohybuje od 430 μm do 500 μm. Podle požadavků zákazníka lze vyrobit i tloušťky na zakázku.
Otázka 2: Jaké orientace krystalů jsou k dispozici pro 12palcové safírové destičky?
Odpověď: Nabízíme orientaci v rovině C (0001), v rovině A (11-20) a v rovině R (1-102). Další orientace lze přizpůsobit na základě specifických požadavků na zařízení.
Otázka 3: Jaká je celková odchylka tloušťky (TTV) destičky?
Odpověď: Naše 12palcové safírové destičky mají obvykle TTV ≤10 μm, což zajišťuje rovnoměrnost po celém povrchu destičky pro výrobu vysoce kvalitních zařízení.
Recenze
Zatím zde nejsou žádné recenze.